Deutsch
 
Hilfe Datenschutzhinweis Impressum
  DetailsucheBrowse

Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT
Zur Ablage hinzufügen
  Lokale TagsFreigabegeschichteDetailsÜbersicht

Freigegeben
Zeitschriftenartikel

Shape control in wafer-based aperiodic 3D nanostructures

MPG-Autoren
/persons/resource/persons75462

Fischer,  Peer       
Max Planck Institute for Medical Research, Max Planck Society;

Externe Ressourcen

https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0957-4484/25/23/235302
(beliebiger Volltext)

https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0957-4484/25/23/235302/pdf
(beliebiger Volltext)

Volltexte (beschränkter Zugriff)
Für Ihren IP-Bereich sind aktuell keine Volltexte freigegeben.
Volltexte (frei zugänglich)
Es sind keine frei zugänglichen Volltexte in PuRe verfügbar
Ergänzendes Material (frei zugänglich)
Es sind keine frei zugänglichen Ergänzenden Materialien verfügbar
Zitation

Hyeon-Ho, J., Mark, A. G., Gibbs, J. G., Reindl, T., Waizmann, U., Weis, J., et al. (2014). Shape control in wafer-based aperiodic 3D nanostructures. Nanotechnology, 25(23): 235302, pp. 1-8. doi:10.1088/0957-4484/25/23/235302.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-000B-050D-2
Zusammenfassung
Controlled local fabrication of three-dimensional (3D) nanostructures is important to explore and enhance the function of single nanodevices, but is experimentally challenging. We present a scheme based on e-beam lithography (EBL) written seeds, and glancing angle deposition (GLAD) grown structures to create nanoscale objects with defined shapes but in aperiodic arrangements. By using a continuous sacrificial corral surrounding the features of interest we grow isolated 3D nanostructures that have complex cross-sections and sidewall morphology that are surrounded by zones of clean substrate.