Abstract
Zum Studium von Elementarschritten bei Oberflächenprozessen eignen sich besonders reine Einkristall-Oberflächen. Niederenergetische Elektronen treten mit den obersten Atomlagen in starke Wechselwirkung und stellen daher ein hervorragendes Hilfsmittel für derartige Untersuchungen dar. Aus der Energieanalyse von Sekundärelektronen, die durch einen Primär-Elektronenstrahl angeregt wurden, läßt sich eine empfindliche chemische Analyse der Oberflächenschichten ableiten (Auger-Elektronenspektroskopie). Interferenz der elastisch gestreuten Elektronen (LEED) liefert wertvolle Informationen über periodische Oberflächenstrukturen. Obwohl eine vollständige Theorie der LEED-Intensitäten noch nicht verfügbar ist, erlaubt das Auftreten geordneter Adsorptionsphasen einen Einblick in die Wechselwirkungen innerhalb von Adsorptionsschichten. In Sonderfällen können eindeutige Strukturmodelle aufgestellt werden. Grenzen und Anwendungsmöglichkeiten dieser Methoden werden diskutiert und an Hand ausgewählter Beispiele erläutert.
