Excimer laser projection-patterned deposition of Al via photolytically driven 
decomposition of trialkylamine alane as adsorbate precursor.

Foulon, F.; Stuke, M.

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Excimer laser projection-patterned deposition of Al via photolytically driven decomposition of trialkylamine alane as adsorbate precursor.

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Stuke, M.
Research Group of Laser Chemical Processing, MPI for biophysical chemistry, Max Planck Society;

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Zitation

Foulon, F., & Stuke, M. (1993). Excimer laser projection-patterned deposition of Al via photolytically driven decomposition of trialkylamine alane as adsorbate precursor. Applied Physics A-Materials Science & Processing, 56(3), 267-273.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0013-07DE-3

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