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Zeitschriftenartikel

Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit

MPG-Autoren
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Kiffner,  M.
Division Prof. Dr. Christoph H. Keitel, MPI for Nuclear Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons30455

Evers,  J.
Division Prof. Dr. Christoph H. Keitel, MPI for Nuclear Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons31214

Zubairy,  M. S.
Division Prof. Dr. Christoph H. Keitel, MPI for Nuclear Physics, Max Planck Society;

Externe Ressourcen
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Zitation

Kiffner, M., Evers, J., & Zubairy, M. S. (2008). Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit. Physical Review Letters, 100(7): 073602. doi:10.1103/PhysRevLett.100.073602.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0011-7A33-8
Zusammenfassung
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