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  Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten

Kauffmann, F. (2003). Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten. PhD Thesis, Universität Stuttgart, Stuttgart.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C56-1 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C57-0
Genre: Hochschulschrift

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Kauffmann, F.1, Autor           
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum: 2003-08-29
 Publikationsstatus: Angenommen
 Seiten: 109 S.
 Ort, Verlag, Ausgabe: Stuttgart : Universität Stuttgart
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 111960
URI: http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1587/
 Art des Abschluß: Doktorarbeit

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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