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  Profile reconstruction in sputter depth profiling

Hofmann, S. (2001). Profile reconstruction in sputter depth profiling. Thin Solid Films, 398, 336-342.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-33E2-3 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-33E3-1
資料種別: 学術論文
その他のタイトル : Thin Solid Films

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作成者

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 作成者:
Hofmann, S.1, 著者           
所属:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer; depth profiling; depth resolution function; delta layers; atomic mixing
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2001-11-01
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 20441
ISI: 000172906200058
 学位: -

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Thin Solid Films
  出版物の別名 : Thin Solid Films
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: 398 通巻号: - 開始・終了ページ: 336 - 342 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0040-6090