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  Characterization of stationary and pulsed inductively coupled RF discharges for plasma sterilization. Invited paper

Gans, T., Osiac, M., O'Connell, D., Kadetov, V. A., Czarnetzki, U., Schwarz-Selinger, T., Halfmann, H., & Awakowicz, P. (2005). Characterization of stationary and pulsed inductively coupled RF discharges for plasma sterilization. Invited paper. Plasma Physics and Controlled Fusion, 47(5A), A353-A360. Retrieved from http://www.iop.org/EJ/abstract/0741-3335/47/5A/026.

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基本情報

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資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Gans, T.1, 著者
Osiac, M.1, 著者
O'Connell, D.1, 著者
Kadetov, V. A.1, 著者
Czarnetzki, U.1, 著者
Schwarz-Selinger, T.2, 3, 著者           
Halfmann, H.1, 著者
Awakowicz, P.1, 著者
所属:
1Institute for Plasma and Atomic Physics, CPST, Ruhr-Univ. Bochum, 44780 Bochum; Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology, CPST, Ruhr-Univ. Bochum, 44780 Bochum, ou_persistent22              
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              
3Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

内容説明

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キーワード: 12th International Congress on Plasma Physics, 2004-10-25 to 2004-10-29
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2005
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子(DOI, ISBNなど): eDoc: 220885
URI: http://www.iop.org/EJ/abstract/0741-3335/47/5A/026
 学位: -

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Plasma Physics and Controlled Fusion
  出版物の別名 : PPCF
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: 47 (5A) 通巻号: - 開始・終了ページ: A353 - A360 識別子(ISBN, ISSN, DOIなど): -