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  Control of layer growth by substrate bias

Häberle, E., Kopecki, J., Mutzke, A., Schneider, R., Schulz, A., Walker, M., et al. (2010). Control of layer growth by substrate bias. In C. McKenna (Ed.), 37th European Physical Society Conference on Plasma Physics. Contributed Papers. Geneva: European Physical Society.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-F25C-5 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0008-AFEE-8
Genre: Konferenzbeitrag

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:
P4.324.pdf (beliebiger Volltext), 3MB
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https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0008-AFEF-7
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P4.324.pdf
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-
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Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
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Copyright Info:
-
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Häberle, E.1, Autor
Kopecki, J.1, Autor
Mutzke, A.2, Autor           
Schneider, R.2, Autor           
Schulz, A.1, Autor
Walker, M.1, Autor
Stroth, U.3, Autor           
Affiliations:
1Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, D-70569 Stuttgart, ou_persistent22              
2Stellarator Theory (ST), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856287              
3External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2010
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Interne Begutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 516965
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 37th EPS Conference on Plasma Physics
Veranstaltungsort: Dublin
Start-/Enddatum: 2010-06-21 - 2010-06-25

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: 37th European Physical Society Conference on Plasma Physics. Contributed Papers
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
McKenna, C., Herausgeber
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe: Geneva : European Physical Society
Seiten: CD-ROM Band / Heft: - Artikelnummer: P4.324 Start- / Endseite: - Identifikator: ISBN: 2-914771-62-2

Quelle 2

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Titel: ECA
Genre der Quelle: Reihe
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 34A Artikelnummer: P4.324 Start- / Endseite: - Identifikator: -