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  Simulation of ion energy distributions in Ar/CH4 rf discharges with ion extraction

Ikkurthi, V., Matyash, K., Meichsner, J., Melzer, A., & Schneider, R. (2009). Simulation of ion energy distributions in Ar/CH4 rf discharges with ion extraction. Plasma Sources Science and Technology, 18:. doi:10.1088/0963-0252/18/3/035003.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-F5A6-B 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-F5A7-9
資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Ikkurthi, V.1, 著者
Matyash, K.2, 3, 著者           
Meichsner, J.1, 著者
Melzer, A.1, 著者
Schneider, R.2, 4, 著者           
所属:
1Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald, 17489 Greifswald, ou_persistent22              
2Stellarator Theory (ST), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856287              
3Helmholtz Junior Research Group 'Computational Material Science' (Junior Research Group HGF-Greifswald), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society
4Helmholtz Junior Research Group 'Computational Material Science' (Junior Research Group HFG-Greifswald), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856336              

内容説明

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資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2009
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 429770
DOI: 10.1088/0963-0252/18/3/035003
URI: http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/18/3/035003
 学位: -

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訴訟

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出版物 1

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出版物名: Plasma Sources Science and Technology
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: Institute of Physics and IOP Publishing Limited
ページ: - 巻号: 18 通巻号: 035003 (7pp) 開始・終了ページ: - 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -