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  Combined Magnetron Sputtering and Ion Implantation - a High Energy Ion Assisted Deposition Method for Producing Nano-structurated Coatings

Ruset, C., Grigore, E., Maier, H., & Neu, R. (2007). Combined Magnetron Sputtering and Ion Implantation - a High Energy Ion Assisted Deposition Method for Producing Nano-structurated Coatings. In Processing and Product Manufacturing: Surface Engineering Using Hybrid Plasma Assisted PVD and CVD Technologies, Nanostructured Coatings (pp. 549-561).

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-0AE9-A 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-0AEA-8
資料種別: 会議論文

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関連URL

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作成者

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 作成者:
Ruset, C.1, 著者
Grigore, E.1, 著者
Maier, H.2, 著者
Neu, R.3, 著者           
所属:
1National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor Street, P.O. Box MG-36 Code 077125, Bucharest-Magurele, Romania, ou_persistent22              
2Max Planck Society, ou_persistent13              
3Tokamak Edge and Divertor Physics (E2), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856308              

内容説明

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資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2007
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり（内部）
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 442994
 学位: -

関連イベント

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イベント名: Materials Science & Technology 2007 Conference (MS&T’07)
開催地: Detroit, MI
開始日・終了日: 2007-09-16 - 2007-09-20

訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Processing and Product Manufacturing: Surface Engineering Using Hybrid Plasma Assisted PVD and CVD Technologies, Nanostructured Coatings
種別: 会議論文集
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: CD-ROM 巻号: - 通巻号: - 開始・終了ページ: 549 - 561 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISBN: 978-0-87170-866-3