Impact of N 2 +H 2 Mixture Plasma on Carbon-containing Film

Voitsenya, V. S.; Masuzaki, S.; Motojima, O.; Sagara, A.; Jacob, W.

Impact of N ₂ +H ₂ Mixture Plasma on Carbon-containing Film

Voitsenya, V. S., Masuzaki, S., Motojima, O., Sagara, A., & Jacob, W. (2006). Impact of N ₂ +H ₂ Mixture Plasma on Carbon-containing Film. Problems of Atomic Science and Technology, 6, 141-143.

Item is 公開

表示: 全項目非表示: 全項目

基本情報

表示: 非表示:

アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-109B-B 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-109C-9

資料種別: 学術論文

ファイル

表示: ファイル

作成者

表示:

非表示:

作成者:
Voitsenya, V. S.¹, 著者
Masuzaki, S.¹, 著者
Motojima, O.¹, 著者
Sagara, A.¹, 著者
Jacob, W.², 著者

所属:
1Institute of Plasma Physics, NSC "Kharkov Institute of Physics and Technology", Akademicheskaya Str. 1, 61108 Kharokov, Ukraine; National Institute for Fusion Science, 322-6 Oroshi-cho Toki-shi 509-5292, Japan, ou_persistent22
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328

内容説明

表示:

非表示:

キーワード: 11th International Conference and School on Plasma Physics and Controlles Fusion, Alushta, 2006-09-10 to 2006-09-16

要旨: -

資料詳細

表示:

非表示:

言語: eng - English

日付: 出版: 2006

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり（内部）

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 294629

学位: -

訴訟

表示:

Project information

表示:

出版物 1

表示:

非表示:

出版物名: Problems of Atomic Science and Technology

種別: 学術雑誌

著者・編者:

所属:

出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 6 通巻号: - 開始・終了ページ: 141 - 143 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

アイテム詳細

基本情報

ファイル

関連URL

作成者

内容説明

資料詳細

関連イベント

訴訟

Project information

出版物 1