Transport and structural modification during nitrogen implantation of hard 
amorphous carbon films

Grigull, S.; Jacob, W.; Henke, D.; Spaeth, C.; Summchen, L.; Sigle, W.

doi:10.1063/1.367338

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Transport and structural modification during nitrogen implantation of hard amorphous carbon films

Grigull, S., Jacob, W., Henke, D., Spaeth, C., Summchen, L., & Sigle, W. (1998). Transport and structural modification during nitrogen implantation of hard amorphous carbon films. Journal of Applied Physics, 83(10), 5185-5194. doi:10.1063/1.367338.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8868-4 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8869-2

Genre: Zeitschriftenartikel

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Urheber:
Grigull, S.¹, Autor
Jacob, W.², Autor
Henke, D.³, Autor
Spaeth, C.³, Autor
Summchen, L.³, Autor
Sigle, W.³, Autor

Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288
3Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, Forschungszentrum Rossendorf e.V., 01314 Dresden, Germany; Institut für Physik, Technische Universität Chemnitz-Zwickau, 09107 Chemnitz, Germany; Institut für Analytische Chemie, Technische Universität Dresden, 01062 Dresden, Germany; Max-Planck-Institut für Metallforschung, 70569 Stuttgart, Germany, ou_persistent22