Transport and structural modification during nitrogen implantation of hard 
amorphous carbon films

Grigull, S.; Jacob, W.; Henke, D.; Spaeth, C.; Summchen, L.; Sigle, W.

doi:10.1063/1.367338

Transport and structural modification during nitrogen implantation of hard amorphous carbon films

Grigull, S., Jacob, W., Henke, D., Spaeth, C., Summchen, L., & Sigle, W. (1998). Transport and structural modification during nitrogen implantation of hard amorphous carbon films. Journal of Applied Physics, 83(10), 5185-5194. doi:10.1063/1.367338.

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資料種別: 学術論文

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Grigull, S.¹, 著者
Jacob, W.², 著者
Henke, D.³, 著者
Spaeth, C.³, 著者
Summchen, L.³, 著者
Sigle, W.³, 著者

所属:
1External Organizations, ou_persistent22
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288
3Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, Forschungszentrum Rossendorf e.V., 01314 Dresden, Germany; Institut für Physik, Technische Universität Chemnitz-Zwickau, 09107 Chemnitz, Germany; Institut für Analytische Chemie, Technische Universität Dresden, 01062 Dresden, Germany; Max-Planck-Institut für Metallforschung, 70569 Stuttgart, Germany, ou_persistent22

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言語: eng - English

日付: 出版: 1998

出版の状態: 出版

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査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 627821
DOI: 10.1063/1.367338
URI: http://dx.doi.org/10.1063/1.367338

学位: -

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出版物名: Journal of Applied Physics

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 83 (10) 通巻号: - 開始・終了ページ: 5185 - 5194 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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