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  Fabrication of Fresnel zone plates by ion-beam lithography and application as objective lenses in extreme ultraviolet microscopy at 13 nm wavelength

Overbuschmann, J., Hengster, J., Irsen, S., & Wilhein, T. (2012). Fabrication of Fresnel zone plates by ion-beam lithography and application as objective lenses in extreme ultraviolet microscopy at 13 nm wavelength. Optics Letters, 37(24), 5100-5012.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-60CF-F Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-60D0-9
Genre: Zeitschriftenartikel

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:
Overbuschmann_Fabrication_2012.pdf (beliebiger Volltext), 2MB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
Overbuschmann_Fabrication_2012.pdf
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-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Privat
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
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Copyright Info:
-
Lizenz:
-
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Scn808012121112450.pdf (beliebiger Volltext), 3MB
 
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Scn808012121112450.pdf
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OA-Status:
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Privat
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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Overbuschmann, J.1, Autor           
Hengster, J., Autor
Irsen, S.1, Autor           
Wilhein, T., Autor
Affiliations:
1Electron Microscopy and Analytics, Center of Advanced European Studies and Research (caesar), Max Planck Society, ou_2173680              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 2012
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Optics Letters
  Alternativer Titel : Opt. Lett.
Genre der Quelle: Zeitschrift
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Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 37 (24) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 5100 - 5012 Identifikator: -