Deutsch
 
Hilfe Datenschutzhinweis Impressum
  DetailsucheBrowse

Datensatz

EndNote (UTF-8)
 
DownloadE-Mail
  A Study of the Neutral Species rf Sputtered from Oxide Target

Coburn, J., Taglauer, E., & Kay, E. (1975). A Study of the Neutral Species rf Sputtered from Oxide Target. In Vacuum (pp. 501-504).

Item is

Externe Referenzen

einblenden:

Urheber

ausblenden:
 Urheber:
Coburn, J.W.1, Autor
Taglauer, E.2, Autor           
Kay, E.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288              

Inhalt

einblenden:

Details

ausblenden:
Sprache(n):
 Datum: 1975
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

ausblenden:
Titel: Vacuum
Veranstaltungsort: Kyoto (JP)
Start-/Enddatum: -

Entscheidung

einblenden:

Projektinformation

einblenden:

Quelle 1

ausblenden:
Titel: Vacuum
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 501 - 504 Identifikator: -