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  Thermal Characterization of Dynamic Silicon Cantilever Array Sensors by Digital Holographic Microscopy

Zakerin, M., Novak, A., Toda, M., Emery, Y., Natalio, F., Butt, H.-J., et al. (2017). Thermal Characterization of Dynamic Silicon Cantilever Array Sensors by Digital Holographic Microscopy. Sensors, 17(6): 1191. doi:10.3390/s17061191.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-BA48-9 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0002-06D0-C
Genre: Zeitschriftenartikel

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:
sensors-17-01191.pdf (beliebiger Volltext), 3MB
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Datei-Permalink:
https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0002-06D1-B
Name:
sensors-17-01191.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
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Copyright Datum:
-
Copyright Info:
-
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Zakerin, Marjan1, Autor           
Novak, A., Autor
Toda, Masaya2, Autor           
Emery, Y., Autor
Natalio, F., Autor
Butt, Hans-Jürgen1, Autor           
Berger, Rüdiger1, Autor           
Affiliations:
1Dept. Butt: Physics at Interfaces, MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1800286              
2Tohoku Univ, Grad Sch Engn, Aoba Ku, Sendai, Miyagi 9808579, Japan, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2017
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.3390/s17061191
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Sensors
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: MDPI
Seiten: - Band / Heft: 17 (6) Artikelnummer: 1191 Start- / Endseite: - Identifikator: Anderer: 1424-8220
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/1424-8220