Bestimmung des Ionenflusses aus einem Wasserstoff-ICP-Plasma mit 
energiedispersiver Massenspektronomie: erste Erfahrungen mit dem PPM 422

Schwarz-Selinger, T.; Plöckl, B.; Jacob, W.

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Bestimmung des Ionenflusses aus einem Wasserstoff-ICP-Plasma mit energiedispersiver Massenspektronomie: erste Erfahrungen mit dem PPM 422

Schwarz-Selinger, T., Plöckl, B., & Jacob, W. (2003). Bestimmung des Ionenflusses aus einem Wasserstoff-ICP-Plasma mit energiedispersiver Massenspektronomie: erste Erfahrungen mit dem PPM 422. Talk presented at 10. Erfahrungsaustausch "Oberflächentechnologie mit Plasmaprozessen". Mühlleithen. 2003-03-18 - 2003-03-20.

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Item Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-05ED-0 Version Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-05EE-F

Genre: Talk

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Creators:
Schwarz-Selinger, T.^{1, 2}, Author
Plöckl, B.^{1, 2}, Author
Jacob, W.^{1, 2}, Author

Affiliations:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288
2Centre for Interdisciplinary Plasma Science (CIPS), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_2074325

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Language(s): deu - German

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Title: 10. Erfahrungsaustausch "Oberflächentechnologie mit Plasmaprozessen"

Place of Event: Mühlleithen

Start-/End Date: 2003-03-18 - 2003-03-20

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