Bestimmung des Ionenflusses aus einem Wasserstoff-ICP-Plasma mit 
energiedispersiver Massenspektronomie: erste Erfahrungen mit dem PPM 422

Schwarz-Selinger, T.; Plöckl, B.; Jacob, W.

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Bestimmung des Ionenflusses aus einem Wasserstoff-ICP-Plasma mit energiedispersiver Massenspektronomie: erste Erfahrungen mit dem PPM 422

Schwarz-Selinger, T., Plöckl, B., & Jacob, W. (2003). Bestimmung des Ionenflusses aus einem Wasserstoff-ICP-Plasma mit energiedispersiver Massenspektronomie: erste Erfahrungen mit dem PPM 422. Talk presented at 10. Erfahrungsaustausch "Oberflächentechnologie mit Plasmaprozessen". Mühlleithen. 2003-03-18 - 2003-03-20.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-05ED-0 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-05EE-F

資料種別: 講演

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Schwarz-Selinger, T.^{1, 2}, 著者
Plöckl, B.^{1, 2}, 著者
Jacob, W.^{1, 2}, 著者

所属:
1Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856288
2Centre for Interdisciplinary Plasma Science (CIPS), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_2074325

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言語: deu - German

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識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 120861

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