Vartolomei, V., Schwarz-Selinger, T., & Jacob, W. (2006). Zeitaufgelöste Messungen von transienten und stabilen Spezies in gepulsten induktiv gekoppelten Argon/Methan Entladungen. Talk presented at 13. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2006-03-13 - 2006-03-16.