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  Zeitaufgelöste Messungen von transienten und stabilen Spezies in gepulsten induktiv gekoppelten Argon/Methan Entladungen

Vartolomei, V., Schwarz-Selinger, T., & Jacob, W. (2006). Zeitaufgelöste Messungen von transienten und stabilen Spezies in gepulsten induktiv gekoppelten Argon/Methan Entladungen. Talk presented at 13. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2006-03-13 - 2006-03-16.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-12DE-2 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-12DF-1
Genre: Vortrag

Dateien

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:
vartolomei.pdf (beliebiger Volltext), 295KB
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Datei-Permalink:
https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-12E0-E
Name:
vartolomei.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
Technische Metadaten:
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Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: PUBLIC
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Vartolomei, V.1, Autor           
Schwarz-Selinger, T.2, Autor           
Jacob, W.2, Autor           
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum:
 Publikationsstatus: Keine Angabe
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 250916
URI: http://www.iom-leipzig.de/muehlleithen/2006/index.cfm
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: 13. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen
Veranstaltungsort: Mühlleithen
Start-/Enddatum: 2006-03-13 - 2006-03-16

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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