Charakterisierung eines ECR-Plasmas mit DC- und HF-Bias zur Untersuchung von 
PWW-Prozessen

Manhard, A.; Schwarz-Selinger, T.

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Charakterisierung eines ECR-Plasmas mit DC- und HF-Bias zur Untersuchung von PWW-Prozessen

Manhard, A., & Schwarz-Selinger, T. (2009). Charakterisierung eines ECR-Plasmas mit DC- und HF-Bias zur Untersuchung von PWW-Prozessen. Talk presented at DPG Frühjahrstagung. Greifswald. 2009-03-30 - 2009-04-02.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-226D-0 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-226E-F

資料種別: 講演

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作成者:
Manhard, A.¹, 著者
Schwarz-Selinger, T.¹, 著者

所属:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328

内容説明

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言語: deu - German

日付:

出版の状態: 不明

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 395618
その他: Verhandl. DPG (VI) 44, 6, P 14.4 (2009)

学位: -

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