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  Charakterisierung eines ECR-Plasmas mit DC- und HF-Bias zur Untersuchung von PWW-Prozessen

Manhard, A., & Schwarz-Selinger, T. (2009). Charakterisierung eines ECR-Plasmas mit DC- und HF-Bias zur Untersuchung von PWW-Prozessen. Talk presented at DPG Frühjahrstagung. Greifswald. 2009-03-30 - 2009-04-02.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-226D-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-226E-F
Genre: Vortrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Manhard, A.1, Autor           
Schwarz-Selinger, T.1, Autor           
Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): deu - German
 Datum:
 Publikationsstatus: Keine Angabe
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 395618
Anderer: Verhandl. DPG (VI) 44, 6, P 14.4 (2009)
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: DPG Frühjahrstagung
Veranstaltungsort: Greifswald
Start-/Enddatum: 2009-03-30 - 2009-04-02

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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