Sode, M., Schwarz-Selinger, T., Jacob, W., Wünderlich, D., & Fantz, U. (2010). Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Plasmen. Talk presented at XVII. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2010-03-02 - 2010-03-04.