Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus 
Wasserstoff-Argon-Plasmen

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Wünderlich, D.; Fantz, U.

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Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Plasmen

Sode, M., Schwarz-Selinger, T., Jacob, W., Wünderlich, D., & Fantz, U. (2010). Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Plasmen. Talk presented at XVII. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2010-03-02 - 2010-03-04.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-5273-2 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-5274-1

Genre: Vortrag

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Urheber:
Sode, M.¹, Autor
Schwarz-Selinger, T.¹, Autor
Jacob, W.¹, Autor
Wünderlich, D.², Autor
Fantz, U.², Autor

Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328
2Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856318