Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus 
Wasserstoff-Argon-Plasmen

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Wünderlich, D.; Fantz, U.

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Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Plasmen

Sode, M., Schwarz-Selinger, T., Jacob, W., Wünderlich, D., & Fantz, U. (2010). Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Plasmen. Talk presented at XVII. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2010-03-02 - 2010-03-04.

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Item Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-5273-2 Version Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-5274-1

Genre: Talk

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Creators:
Sode, M.¹, Author
Schwarz-Selinger, T.¹, Author
Jacob, W.¹, Author
Wünderlich, D.², Author
Fantz, U.², Author

Affiliations:
1Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856328
2Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856318

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Language(s): deu - German

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Publication Status: Not specified

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Table of Contents: -

Rev. Type: -

Identifiers: eDoc: 446599
URI: www.iom-leipzig.de/muehlleithen/2010/index.cfm

Degree: -

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Title: XVII. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen

Place of Event: Mühlleithen

Start-/End Date: 2010-03-02 - 2010-03-04

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