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  Electron-induced crosslinking of aromatic self-assembled monolayers: Negative resists for nanolithography

Geyer, W., Stadler, V., Eck, W., Zharnikov, M., Gölzhäuser, A., & Grunze, M. (1999). Electron-induced crosslinking of aromatic self-assembled monolayers: Negative resists for nanolithography. Applied Physics Letters, 75(16), 2401-2403. doi:10.1063/1.125027.

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Basisdaten

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Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : Electron induced crosslinking of aromatic self-assembled monolayers: negative resists for nanolithography

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:
ApplPhysLett_75_1999_2401.pdf (beliebiger Volltext), 294KB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
ApplPhysLett_75_1999_2401.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Eingeschränkt (Max Planck Institute for Medical Research, MHMF; )
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
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Copyright Info:
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Externe Referenzen

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externe Referenz:
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.125027 (beliebiger Volltext)
Beschreibung:
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OA-Status:
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https://doi.org/10.1063/1.125027 (beliebiger Volltext)
Beschreibung:
-
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Urheber

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 Urheber:
Geyer, W., Autor
Stadler, V., Autor
Eck, W., Autor
Zharnikov, M., Autor
Gölzhäuser, A., Autor
Grunze, M.1, Autor           
Affiliations:
1Cellular Biophysics, Max Planck Institute for Medical Research, Max Planck Society, ou_2364731              

Inhalt

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Schlagwörter: -
 Zusammenfassung: We have explored the interaction of self-assembled monolayers of 1,1′-biphenyl-4-thiol (BPT) with low energy electrons. X-ray photoelectron, infrared, and near edge x-ray absorption fine structure spectroscopy showed that BPT forms well-ordered monolayers with the phenyl rings tilted ∼15° from the surface normal. The films were exposed to 50 eV electrons and changes were monitored in situ. Even after high (∼10 mC/cm2) exposures, the molecules maintain their preferred orientation and remain bonded on the gold substrate. An increased etching resistance and changes in the infrared spectra imply a crosslinking between neighboring phenyl groups, which suggests that BPT can be utilized as an ultrathin negative resist. This is demonstrated by the generation of patterns in the underlying gold.

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1999-06-211999-08-041999-10-18
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: 3
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1063/1.125027
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Applied Physics Letters
  Kurztitel : Appl. Phys. Lett.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Melville, NY : American Institute of Physics
Seiten: - Band / Heft: 75 (16) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 2401 - 2403 Identifikator: Anderer: 0003-6951
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954922836223