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  Rutherford backscattering spectrometry analysis of InGaAs nanostructures

Laricchiuta, G., Vandervorst, W., Vickridge, I., Mayer, M., & Meersschaut, J. (2019). Rutherford backscattering spectrometry analysis of InGaAs nanostructures. Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 37: 020601. doi:10.1116/1.5079520.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0002-EF9D-1 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0003-16BA-3
Genre: Zeitschriftenartikel

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laricchiuta_rutherford.pdf (Ergänzendes Material), 586KB
 
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https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0003-16BB-2
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https://doi.org/10.1116/1.5079520 (Verlagsversion)
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Urheber

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 Urheber:
Laricchiuta, G.1, Autor
Vandervorst, W.1, Autor
Vickridge, I.1, Autor
Mayer, M.2, Autor           
Meersschaut, J.1, Autor
Affiliations:
1external, ou_persistent22              
2Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 20182019
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1116/1.5079520
 Art des Abschluß: -

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
  Andere : J. Vac. Sci. Technol. A: Vac. Surf. Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: New York : Published by AVS through the American Institute of Physics
Seiten: - Band / Heft: 37 Artikelnummer: 020601 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0734-2101
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954928495416_2