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  Effect of bias voltage on microstructure and optical properties of Al2O3 thin films prepared by twin targets reactive high power impulse magnetron sputtering

Zhou, G., Wang, L., Wang, X., Yu, Y., & Mutzke, A. (2019). Effect of bias voltage on microstructure and optical properties of Al2O3 thin films prepared by twin targets reactive high power impulse magnetron sputtering. Vacuum, 166, 88-96. doi:10.1016/j.vacuum.2019.04.060.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0003-ADFA-1 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0006-5A9A-8
資料種別: 学術論文

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zhou_effect.pdf (付録資料), 3MB
 
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zhou_effect.pdf
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application/pdf
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CCライセンス:
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Zhou_Effect.pdf (全文テキスト（全般）), 2MB
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https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0004-04C3-B
ファイル名:
Zhou_Effect.pdf
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OA-Status:
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公開
MIMEタイプ / チェックサム:
application/pdf / [MD5]
技術的なメタデータ:
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CCライセンス:
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https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2019.04.060 (出版社版)
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作成者

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 作成者:
Zhou, G.1, 著者
Wang, L.1, 著者
Wang, X.1, 著者
Yu, Y.1, 著者
Mutzke, A.2, 著者           
所属:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Stellarator Theory (ST), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856287              

内容説明

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資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 20192019
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.04.060
 学位: -

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訴訟

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出版物 1

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出版物名: Vacuum
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: Amsterdam : Elsevier B.V.
ページ: - 巻号: 166 通巻号: - 開始・終了ページ: 88 - 96 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0042-207X
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925450829