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  Deposition of Tungsten Thin Films by Magnetron Sputtering for Large-Scale Production of Tungsten-Based Transition-Edge Sensors

Abdelhameed, A. H., Angloher, G., Bauer, P., Bento, A., Bertoldo, E., Canonica, L., Fuchs, D., Hauff, D., Ferreiro Iachellini, N., Mancuso, M., Petricca, F., Pröbst, F., Riesch, J., & Rothe, J. (2020). Deposition of Tungsten Thin Films by Magnetron Sputtering for Large-Scale Production of Tungsten-Based Transition-Edge Sensors. Journal of Low Temperature Physics, 199(1-2), 401-407. doi:10.1007/s10909-020-02357-x.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0005-C55B-7 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0007-E32B-9
資料種別: 学術論文

ファイル

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:
Abdelhameed_Deposition.pdf (全文テキスト(全般)), 402KB
ファイルのパーマリンク:
https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0005-C55E-4
ファイル名:
Abdelhameed_Deposition.pdf
説明:
-
OA-Status:
Green
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公開
MIMEタイプ / チェックサム:
application/pdf / [MD5]
技術的なメタデータ:
著作権日付:
-
著作権情報:
-
CCライセンス:
-
:
abdelhameed_deposition.pdf (付録資料), 747KB
 
ファイルのパーマリンク:
-
ファイル名:
abdelhameed_deposition.pdf
説明:
-
OA-Status:
閲覧制限:
非公開
MIMEタイプ / チェックサム:
application/pdf
技術的なメタデータ:
著作権日付:
-
著作権情報:
-
CCライセンス:
-

関連URL

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説明:
Open Access
OA-Status:
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作成者

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 作成者:
Abdelhameed, A. H.1, 著者
Angloher, G.1, 著者
Bauer, P.1, 著者
Bento, A.1, 著者
Bertoldo, E.1, 著者
Canonica, L.1, 著者
Fuchs, D.1, 著者
Hauff, D.1, 著者
Ferreiro Iachellini, N.1, 著者
Mancuso, M.1, 著者
Petricca, F.1, 著者
Pröbst, F.1, 著者
Riesch, J.2, 著者           
Rothe, J.1, 著者
所属:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327              

内容説明

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キーワード: Konferenzbeitrag
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 20192020
 出版の状態: オンラインで出版済み
 ページ: 7 p.
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子(DOI, ISBNなど): DOI: 10.1007/s10909-020-02357-x
 学位: -

関連イベント

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Journal of Low Temperature Physics
  副タイトル : 18th International Workshop on Low Temperature Detectors (LTD-18), Milano, 2019-07-22 to 2019-07-26
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: London : Springer Nature
ページ: - 巻号: 199 (1-2) 通巻号: - 開始・終了ページ: 401 - 407 識別子(ISBN, ISSN, DOIなど): ISSN: 0022-2291
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925414929