日本語
 
Help Privacy Policy ポリシー/免責事項
  詳細検索ブラウズ

アイテム詳細

  In situ x-ray diffraction and spectro-microscopic study of ALD protected copper films

Dogan, G., Sanli, U. T., Hahn, K., Müller, L., Gruhn, H., Silber, C., Schütz, G., Grévent, C., & Keskinbora, K. (2020). In situ x-ray diffraction and spectro-microscopic study of ALD protected copper films. ACS Applied Materials and Interfaces, 12(29), 33377-33385. doi:10.1021/acsami.0c06873.

Item is

基本情報

表示: 非表示:
アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0007-31DF-7 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0007-31E0-4
資料種別: 学術論文

ファイル

表示: ファイル

関連URL

表示:

作成者

表示:
非表示:
 作成者:
Dogan, G.1, 2, 著者           
Sanli, U. T.1, 著者           
Hahn, K.3, 著者
Müller, L.2, 著者
Gruhn, H.4, 著者
Silber, C.2, 著者
Schütz, G.1, 著者           
Grévent, C.2, 著者
Keskinbora, K.1, 著者           
所属:
1Dept. Modern Magnetic Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497648              
2Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, 72703 Reutlingen, Germany, ou_persistent22              
3Max Planck Institute for Solid State Research, 70569 Stuttgart, Germany, ou_persistent22              
4Robert Bosch GmbH, Corporate Sector Research and Advance Engineering, 71272 Reutlingen, Germany, ou_persistent22              

内容説明

表示:
非表示:
キーワード: Abt. Schütz
 要旨: -

資料詳細

表示:
非表示:
言語: eng - English
 日付: 2020-06-172020-07-22
 出版の状態: 出版
 ページ: 9
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子(DOI, ISBNなど): DOI: 10.1021/acsami.0c06873
 学位: -

関連イベント

表示:

訴訟

表示:

Project information

表示:

出版物 1

表示:
非表示:
出版物名: ACS Applied Materials and Interfaces
  その他 : ACS Applied Materials & Interfaces
  省略形 : ACS Appl. Mater. Interfaces
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: Washington, DC : American Chemical Society
ページ: - 巻号: 12 (29) 通巻号: - 開始・終了ページ: 33377 - 33385 識別子(ISBN, ISSN, DOIなど): ISSN: 1944-8244
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/1944-8244