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  In situ x-ray diffraction and spectro-microscopic study of ALD protected copper films

Dogan, G., Sanli, U. T., Hahn, K., Müller, L., Gruhn, H., Silber, C., et al. (2020). In situ x-ray diffraction and spectro-microscopic study of ALD protected copper films. ACS Applied Materials and Interfaces, 12(29), 33377-33385. doi:10.1021/acsami.0c06873.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0007-31DF-7 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0007-31E0-4
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Dogan, G.1, 2, Autor           
Sanli, U. T.1, Autor           
Hahn, K.3, Autor
Müller, L.2, Autor
Gruhn, H.4, Autor
Silber, C.2, Autor
Schütz, G.1, Autor           
Grévent, C.2, Autor
Keskinbora, K.1, Autor           
Affiliations:
1Dept. Modern Magnetic Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497648              
2Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, 72703 Reutlingen, Germany, ou_persistent22              
3Max Planck Institute for Solid State Research, 70569 Stuttgart, Germany, ou_persistent22              
4Robert Bosch GmbH, Corporate Sector Research and Advance Engineering, 71272 Reutlingen, Germany, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: Abt. Schütz
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2020-06-172020-07-22
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: 9
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1021/acsami.0c06873
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: ACS Applied Materials and Interfaces
  Andere : ACS Applied Materials & Interfaces
  Kurztitel : ACS Appl. Mater. Interfaces
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Washington, DC : American Chemical Society
Seiten: - Band / Heft: 12 (29) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 33377 - 33385 Identifikator: ISSN: 1944-8244
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/1944-8244