A digital twin for MEMS and NEMS

Korvink, Jan; Poletkin, Kirill; Deng, Yongbo; Feng, Lihong

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A digital twin for MEMS and NEMS

Korvink, J., Poletkin, K., Deng, Y., & Feng, L. (in press). A digital twin for MEMS and NEMS. In M. Rudan, R. Brunetti, & S. Reggiani (Eds.), Springer Handbook of Semiconductor Devices, Part 4, Modeling. Springer.

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0008-BB4D-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0008-BB4E-F

Genre: Buchkapitel

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Urheber:
Korvink, Jan¹, Autor
Poletkin, Kirill¹, Autor
Deng, Yongbo^{1, 2}, Autor
Feng, Lihong³, Autor

Affiliations:
1KIT, ou_persistent22
2Chinese Academy of Sciences, ou_persistent22
3Computational Methods in Systems and Control Theory, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems, Max Planck Society, ou_1738141