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A digital twin for MEMS and NEMS

MPS-Authors
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Feng,  Lihong
Computational Methods in Systems and Control Theory, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems, Max Planck Society;

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引用

Korvink, J., Poletkin, K., Deng, Y., & Feng, L. (in press). A digital twin for MEMS and NEMS. In M., Rudan, R., Brunetti, & S., Reggiani (Eds.), Springer Handbook of Semiconductor Devices, Part 4, Modeling. Springer.


引用: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0008-BB4D-0
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