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  Impact of feed gas impurities on N incorporation in SiC deposited in a CVD process

Lathiya, D. (2022). Impact of feed gas impurities on N incorporation in SiC deposited in a CVD process. Master Thesis.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-000A-7507-B Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-000A-7508-A
Genre: Hochschulschrift

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Lathiya , Dhruvit 1, Autor
Seidel-Morgenstern, Andreas1, 2, Gutachter           
Affiliations:
1Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, External Organizations, ou_1738156              
2Physical and Chemical Foundations of Process Engineering, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems, Max Planck Society, ou_1738150              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2022-02-14
 Publikationsstatus: Angenommen
 Seiten: 55
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: -
 Art des Abschluß: Master

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle

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