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Titel:
Journal of Vacuum Science and Technology A
Andere
:
J. Vac. Sci. Technol. A: Vac. Surf. Films
Genre der Quelle:
Zeitschrift
Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe:
New York : Published by AVS through the American Institute of Physics
Seiten:
5
Band / Heft:
19 (4)
Artikelnummer:
-
Start- / Endseite:
1497 - 1501
Identifikator:
ISSN: 0734-2101
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954928495416_2