Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das 
Schichtwachstum von C:H-Schichten

Reinke, P.

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Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das Schichtwachstum von C:H-Schichten

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Reinke, P.(1992). Ionenenergieverteilungen aus einem ECR-Plasma und ihr Einfluß auf das Schichtwachstum von C:H-Schichten (IPP 4/256). Garching (DE): Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.

Cite as: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-63E1-B

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