Chemische Zerstäubung und ioneneunterstütztes Wachstum amorpher 
Kohlenwasserstoffschichten . Experimente mit Teilchenstrahlen. Chemical 
Sputtering and Ion-enhanced Growth of Amorphous Hydrocarbon Films - a 
Particle-beam Experiment

Hopf, C.

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Chemische Zerstäubung und ioneneunterstütztes Wachstum amorpher Kohlenwasserstoffschichten . Experimente mit Teilchenstrahlen. Chemical Sputtering and Ion-enhanced Growth of Amorphous Hydrocarbon Films - a Particle-beam Experiment

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Hopf, C.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;
Centre for Interdisciplinary Plasma Science (CIPS), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Hopf, C.(2003). Chemische Zerstäubung und ioneneunterstütztes Wachstum amorpher Kohlenwasserstoffschichten. Experimente mit Teilchenstrahlen. Chemical Sputtering and Ion-enhanced Growth of Amorphous Hydrocarbon Films - a Particle-beam Experiment (IPP 9/134). Garching: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.

Cite as: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-4006-D

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