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Zeitschriftenartikel

Physical Sputtering of Low-Z Materials

MPG-Autoren
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Gauthier,  E.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Eckstein,  W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Laszlo,  J.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons110287

Roth,  J.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

Externe Ressourcen
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Zitation

Gauthier, E., Eckstein, W., Laszlo, J., & Roth, J. (1990). Physical Sputtering of Low-Z Materials. Journal of Nuclear Materials, 176-177, 438-444. doi:10.1016/0022-3115(90)90086-3.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-C6A2-A
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