Engulfment control of platinum nanoparticles into oxidized silicon substrates 
for fabrication of dense solid-state nanopore arrays

Le-The, Hai; Tregouet, Corentin; Kappl, Michael; Müller, Maren; Kirchhoff, Kathrin; Lohse, Detlef; van den Berg, Albert; Odijk, Mathieu; Eijkel, Jan C. T.

doi:10.1088/1361-6528/aaf114

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Zeitschriftenartikel

Engulfment control of platinum nanoparticles into oxidized silicon substrates for fabrication of dense solid-state nanopore arrays

MPG-Autoren

/persons/resource/persons48141

Kappl, Michael
Dept. Butt: Physics at Interfaces, MPI for Polymer Research, Max Planck Society;

/persons/resource/persons59196

Müller, Maren
Dept. Butt: Physics at Interfaces, MPI for Polymer Research, Max Planck Society;

/persons/resource/persons48181

Kirchhoff, Kathrin
Dept. Landfester: Physical Chemistry of Polymers, MPI for Polymer Research, Max Planck Society;

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Zitation

Le-The, H., Tregouet, C., Kappl, M., Müller, M., Kirchhoff, K., Lohse, D., et al. (2019). Engulfment control of platinum nanoparticles into oxidized silicon substrates for fabrication of dense solid-state nanopore arrays. Nanotechnology, 30(6): 065301. doi:10.1088/1361-6528/aaf114.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0002-BC59-7

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