Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus 
Wasserstoff-Argon-Plasmen

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Wünderlich, D.; Fantz, U.

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講演

Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Plasmen

MPS-Authors

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Sode, M.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Schwarz-Selinger, T.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Jacob, W.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Wünderlich, D.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Fantz, U.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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引用

Sode, M., Schwarz-Selinger, T., Jacob, W., Wünderlich, D., & Fantz, U. (2010). Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Plasmen. Talk presented at XVII. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2010-03-02 - 2010-03-04.

引用: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-5273-2

要旨

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